Микросистемная техника - датчики


Микросистемная техника (МСТ) возникла на стыке двух прогрессирующих областей практических знаний: микроэлектроники и механики. В настоящее время трудно назвать область прикладной деятельности, где было бы невозможно воспользоваться достижениями МСТ. Однако, наиболее впечатляющие успехи достигнуты в ее приложении к датчикам (первичным преобразователям). Естественная (за счет единого технологического процесса) интеграция электронных и механических компонент позволяет получать сверхминиатюрные датчики с уникальными метрологическими и надежностными характеристиками при весьма умеренных стоимостных показателях. В настоящем разделе планируется показать современные достижения микросистемной техники в приложении к новейшим образцам датчиков. Мы благодарны ст.н.с. кафедры Компрессорной, Холодильной и Вакуумной техники Санкт-Петербургского Государственного Политехнического Университета Акульшину Ю.Д. за предоставленные материалы. В свою очередь, надеемся, что наши читатели поделятся имеющейся у них информацией по данной тематике, которая будет незамедлительно опубликована в нашем разделе.

 

Слайд-семинар: общее знакомство с микросистемной техникой и микроэлектромеханическими системами


1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.
10.
11.
12.
13.
14.
15.
16.
17.
18.
19.
20.
21.
22.
23.
24.
25.
26.
 

МЭМС-датчики

1.
2.
3.
4.
5.
6.


По вопросам поставки обращаться: inf@autex.spb.ru
По вопросам публикации обращаться: inf@autex.spb.ru